Das Oberflächen-Profilometer SPA 25 kann Oberflächentopographie und Rau­heits­pa­ra­me­ter mit herausragender Geschwindigkeit und Auflösung bestimmen. Das SPA 25 nutzt die Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie welche eine Höhenauflösung von bis zu 0.1 nm selbst bei kleinen Vergrößerungsfaktoren bietet. Es kann entweder mit einem manuellen oder einem automatischen motorisierten Probentisch verwendet werden. Der Einsatz eines motorisierten Probentisches erlaubt es softwaregesteuert mehrere individuelle Aufnahmen zu einem kombinierten Bild zusammenzusetzten. So können größere Oberflächenareale von bis zu 300 mm x 300 mm visualisiert und analysiert werden.

Hauptmerkmale

• Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie Messtechnik
• piezoelektrischer Präzisions-Scanantrieb
• bis zu 400 μm Scann-Bereich (Z-Richtung) und 11.3 μm/s Scann-Geschwindigkeit bei voller Auflösung
• USB 3 Hochgeschwindigkeitskamera mit 1920 x 1200 Pixel max. Auflösung und bis zu 3000 Bilder/s mit begrenztem ROI
• Zwei Scann-Modi:
  • VSI (vertical scanning interferometry) mit 1 nm Höhenauflösung (Z-Richtung)
  • EPSI (extended phase shift interferometry) mit 0.1 nm Höhenauflösung (Z-Richtung)
• Mirau-Interferometer Mikroskop-Objektive mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren
• Manueller oder automatischer Probentisch
• Steuergerät mit leistungsstarkem integriertem PC:
  • Intel® Core™ I5
  • 16 GB RAM
  • 500 GB SSD
  • NVIDIA® Grafikkarte
  • Microsoft® Windows™ 10 Pro

Software

Das SPA 25 wird über die SPS 25 Surface Profile Software gesteuert. Es verwendet die branchen-führende MountainsMap® Imaging Topography Analysesoftware um die Oberflächenprofile auszuwerten. Erfahren Sie mehr über die Software für das SPA 25.

Zubehör

Das SPA 25 kann mit einem manuellen oder verschiedenen automatischen Probentischen kombiniert werden. Außerdem stehen Mirau-Interferometer Mikroskop-Objektive mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren zur Auswahl. Erfahren Sie mehr über das verfügbare Zubehör.

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