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SPA – Zubehör

Probentische

Proben können entweder mit einem manuellen Probentisch oder automatisch mit einem motorisierten Probentisch positioniert werden. Für eine intuitive Kontrolle umfasst jeder motorisierte Tisch einen Joystick. Der Einsatz eines motorisierten Probentisches erlaubt es softwaregesteuert mehrere individuelle Aufnahmen zu einem kombinierten Bild zusammenzusetzten. So können größere Oberflächenareale visualisiert und analysiert werden.

Motorisierter Probentisch mit Joystick

Bewegung Positions­bereich Max. Gewicht Positions­auflösung
Manuell 73 mm x 55 mm 1 kg
Automatisch 75 mm x 50 mm 1 kg 0,01 μm
Automatisch 100 mm x 100 mm 2 kg 0,01 μm
Automatisch 150 mm x 150 mm 3 kg 0,01 μm
Automatisch 200 mm x 200 mm 3 kg 0,01 μm
Automatisch 300 mm x 300 mm 5 kg 0,01 μm

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Mikroskop-Objektive

Das SPA 25 verwendet Mirau-Interferometer Mikroskop-Objektive. Die Objektive sind mit verschiedenen Vergrößerungsfaktoren, welche das laterale Auflösungsvermögen in der X-Y-Ebene beeinflussen, verfügbar. Beachten Sie, dass Dank der Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie Messtechnik die Höhenauflösung in Z-Richtung unabhängig vom Vergrößerungsfaktor ist.

10x und 50x Mikroskop-Objektive

Ver­grö­ße­rungs­faktor Mess­bereich Arbeits­abstand Punkt­abstand
2,5x 7,3 mm x 4,6 mm 10,3 mm 3,8 μm
5x 3,7 mm x 2,3 mm 9,3 mm 1,9 μm
10x 1,8 mm x 1,2 mm 7,4 mm 0,96 μm
20x 0,91 mm x 0,58 mm 4,7 mm 0,48 μm
50x 0,37 mm x 0,23 mm 3,4 mm 0,19 μm
100x 0,18 mm x 0,12 mm 2 mm 0,1 μm

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